高溫真空氣氛爐的使用注意事項(xiàng)
高溫真空氣氛爐除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無人繼續(xù)使用,請關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng), 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關(guān)掉。
1、高溫真空氣氛爐處理HF時(shí),請戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處。
2、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
3、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
4、氰化鉀(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
5、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
6、高溫真空氣氛爐請節(jié)約純水用量。
7、破晶片、濾紙、棉花棒等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
8、長短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請朝上以免污染。
9、晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。